スパッタ装置/蒸着装置用部品の剥離洗浄
スパッタ装置/蒸着装置 剥離洗浄
1.受入検査
付着膜質や数量、仕様書の内容を確認する。
2.防着板付着膜剥離
2-1 付着膜剥離
独自の方法を用い付着している膜を取り除く。
- 2-1-1 化学的処理
- 薬液（酸、アルカリ）を使用して付着膜を溶かす。
- 2-1-2 物理的処理（エアブラスト）
- ブラスト装置にて付着膜を剥がし落とす。
2-2 仕上げブラスト（エアブラスト）
ブラストにて表面粗さを調整する。
3.防着板仕上げ洗浄〜梱包（クリーンルーム作業：クラス1000）
3-1 超純水洗浄
超純水洗浄による超音波洗浄を行う。
3-2 真空加熱乾燥
真空内で加熱し脱ガスを行う。
3-3 梱包
製品毎にクリーンルーム内にて梱包を行う。
4.出荷・納品
当社ではこの他にも、お客様のご意見・ご要望を取り入れお客さまにとって最適な洗浄工程、条件をご提示していきますのでご相談ください。
